Kloro silan , organik sentez, duman perdesi üretimi, savaş alanı tahriş edici gaz, monokristal silikon hammaddeleri, optik fiber, epitaksi, dağlama, kimyasal buhar biriktirme için kullanılabilir.
Kloro silan, oda sıcaklığında ve basıncında nefes uyarıcı bir kokuya sahip renksiz şeffaf toksik bir sıvıdır. Zehirli buhar yayar ve termal stabiliteye sahiptir. Havada yanamaz. Havadaki oksijenle reaksiyona girerek 400 ℃ üzerinde SiO2 oluşturabilir. Nemli havada hidrolize edildiğinde, dumanla birlikte katı buhar parçacıkları oluşur. Su ile şiddetli reaksiyona girerek silisik asit ve hidroklorik asit oluşturur. Birçok metal oksit ile reaksiyona girebilir ve klorür oluşturabilir. Amonyak ile reaksiyona girebilir ve tetramin silikon oluşturabilir ve duman üretebilir. Gliese reaktifi ile reaksiyona girebilir ve organoklorosilan oluşturabilir. Alkollerle reaksiyona girebilir ve silikatlar oluşturabilir. Aşındırıcıdır ve alüminyum ve pirinci aşındırabilir. Benzen, kloroform, eter vb. organik çözücülerle karışabilir.
Klor silanın toksisitesi
Kloro silanın toksisitesi esas olarak güçlü tahrişi ve aşınması ile kendini gösterir. Gözyaşı, öksürük, konjonktivit, üst solunum yolu iltihabı, soluk borusu, bronş ve akciğer iltihabına neden olabilen cildi, gözleri ve solunum mukozasını tahriş edebilir ve aşındırabilir. Hücreleri aşındırabilir ve yok edebilir.